南大光电：目前ArF光刻胶项目已完成的产线设计产能为25吨

GoldMan · 发表于 2021-5-12 11:21

　南大光电(300346)接受机构调研时表示，公司ArF光刻胶产品开发和产业化项目，目前已完成25吨光刻胶生产线建设，主要先进光刻设备，如ASML浸没式光刻机等已经完成安装并投入使用。2020年底，公司自主研发的ArF光刻胶产品成功通过下游客户的使用认证，成为通过产品验证的第一只国产ArF光刻胶，产业化取得关键突破，拿到国产光刻胶的首个订单，实现小批量销售。

（文章来源：e公司）

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[公司] 南大光电：目前ArF光刻胶项目已完成的产线设计产能为25吨

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